高纯气体气瓶架-高纯气体处理设备高纯气体气瓶架(GR),GR(Gas Rack)是为了满足微电子半导体生产、科研要求而设计的气体输送中转系统。GR一般由架子、阀门盘面、管件、控制器等集中在一起组成。
智能自动GR特气气瓶架是专为集中供气而设计的供气切换系统,基...
GR特气架多应用在 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备...
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