VMP阀门盘
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VMP高纯气体阀门控制盘

VMP高纯气体阀门控制盘VMP高纯气体阀门控制盘是一种内嵌多支路,实现高纯气体或液体分流的阀门箱。VMP能让高纯原料从单一来源被分配到多点应用。对于每个使用点,压力可被单独地调控,从而可同时满足不同应用的需求。它还可提供吹扫功能和真空抽气功能,因此操作人员能够在无危险气体泄漏的情况下安全地维护VMP的每一部份。除此以外,设备运行过程中能在不影响其它支路气体供应情况下,吹扫某一支路或对其进行真空抽气
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VMP高纯气体阀门控制盘

VMP高纯气体阀门控制盘是一种内嵌多支路,实现高纯气体或液体分流的阀门箱。
VMP能让高纯原料从单一来源被分配到多点应用。对于每个使用点,压力可被单独地调控,从而可同时满足不同应用的需求。
它还可提供吹扫功能和真空抽气功能,因此操作人员能够在无危险气体泄漏的情况下安全地维护VMP的每一部份。
除此以外,设备运行过程中能在不影响其它支路气体供应情况下,吹扫某一支路或对其进行真空抽气。
VMP通过采用安装的压力表、手动阀等装置,具有成本低的优势,能够实现设备安全有效的运行,同时也确保了工厂正常生产和员工人身安全。


结构特点:

1、专为实验室气站及气瓶柜设计

2、面板式整体结构便于安装

3、主体采用316L不锈钢材质,更适合于实验室特气

4、金属膜片减压结构

5、硬密封结构,避免材质老化污染

6、采用膜片阀控制,流道简洁,操作可靠,使用寿命长

7、阀组采用焊接与FSR结构连接,大幅减少泄漏点

8、针对有害,燃烧性气体备有排放并接型结构供选择

9、可选用报警信号压力表结构,供气欠压提供报警信号

10、特气系列减压器

11、配安全阀

12、减压器及管路经耐压测试和泄漏测试

13、2英寸不锈钢压力表,读数清晰

14、所有膜片阀旋钮带“开启/关闭”指示窗

   
适用气体:
易燃性,腐蚀性,毒性气体,诸如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl等。

适用行业:
Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED,研究所,高校实验室等

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