VMP高纯气体阀门控制盘
VMP高纯气体阀门控制盘是一种内嵌多支路,实现高纯气体或液体分流的阀门箱。
VMP能让高纯原料从单一来源被分配到多点应用。对于每个使用点,压力可被单独地调控,从而可同时满足不同应用的需求。
它还可提供吹扫功能和真空抽气功能,因此操作人员能够在无危险气体泄漏的情况下安全地维护VMP的每一部份。
除此以外,设备运行过程中能在不影响其它支路气体供应情况下,吹扫某一支路或对其进行真空抽气。
VMP通过采用安装的压力表、手动阀等装置,具有成本低的优势,能够实现设备安全有效的运行,同时也确保了工厂正常生产和员工人身安全。
结构特点:
1、专为实验室气站及气瓶柜设计
2、面板式整体结构便于安装
3、主体采用316L不锈钢材质,更适合于实验室特气
4、金属膜片减压结构
5、硬密封结构,避免材质老化污染
6、采用膜片阀控制,流道简洁,操作可靠,使用寿命长
7、阀组采用焊接与FSR结构连接,大幅减少泄漏点
8、针对有害,燃烧性气体备有排放并接型结构供选择
9、可选用报警信号压力表结构,供气欠压提供报警信号
10、特气系列减压器
11、配安全阀
12、减压器及管路经耐压测试和泄漏测试
13、2英寸不锈钢压力表,读数清晰
14、所有膜片阀旋钮带“开启/关闭”指示窗
适用气体:
易燃性,腐蚀性,毒性气体,诸如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl等。
适用行业:
Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED,研究所,高校实验室等