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电子特气系统：
特气系统是指特种气体的储存、输送与分配过程的设备、管道和部件的总称。特气系统工程是用于实现特气系统安全使用的工程。
特气系统
特气系统组成及特气分类
特气系统组成：由储存、输送、分配、控制四类设备组成。其中“存储”指气源部分(特气柜GC)，“输送”指配管部分(一般用双套管)，“分配”指二次配部分(气体分配柜VMB)，“控制”指监督控制部分(气体管理系统GMS)。
特气分类：电子特气根据气体性质不同一般分自燃气体、易燃爆气体、有毒气体和腐蚀性气体;所以对应的特气系统也按此分为四类。
特气系统特点：
特气系统中的每台设备均配有PLC控制、彩色触摸屏操作，带有温度、压力、烟雾、泄漏监控报警，并可扩展地震监控报警;单台设备可以独成系统独立运转，也可多台设备用PLC或TGO连起来组成大系统，在监控中心统一监控管理，其报警系统还可以与安监系统、消防系统对接。
应用行业及设备：
芯片半导体、微电子企业、光伏太阳能、生物制药、新材料等行业，常配套用于溅射真空镀、沉积刻蚀、钝化清洗等设备。
电子特气工程纯度要求：
特种气体要求超纯、超净。纯度每提升一个 N 以及粒子、金属杂质含量浓度每降低一个数量级都将带来工艺复杂度和难度的显著提升。例如，12吋、90nm制程的集成电路制造技术要求电子特气的纯度要在 5N~6N 以上，有害的气体杂质浓度需要控制在 ppb(10-9);在更为先进的28nm 及目前国际一线的 6nm~10nm 集成电路制程工艺中，电子特气的纯度要求更高，杂质浓度要求甚至达到 ppt(10-12)级别。
特种气体管道的施工
特种气体管道的施工采用全自动轨道焊接，同时制定和实施严格的超高纯施工和QA/QC保证程序，对施工的质量和程序进行严格的监控和管理。最后整个系统还要进行氦检漏、水分、氧分和颗粒度检测、以及其他要求做的气相杂质的测试。
特气系统检测：
a. 设备安装完成后，按照系统要求的基本功能逐一测试。
b. 系统运行正常，联机测试通过。
c. 如商检或设备测试中发现设备性能指标或功能上不符合招标文件和合同时，将被看作性能不合格，设备使用单位有权拒收并要求赔偿。
d. 我公司负责在项目验收时将系统的全部有关产品说明书、原厂家安装手册、技术文件、资料、及安装、验收报告等文档交付设备使用单位。
e. 针对以上情况及实际工作压力，参考《国家工业管道安装及验收规范》(GB50235-2010)、《现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范》(GB50236-2010)等部分有关规定，对本项目气体管道压力试验及净化制定具体方案。
设计规范及参考：
1. 气体控制系统设计准则及设计依据 A. GB50016-2014: 建筑设计防火规范 B. GB 13690-92: 常用危险化学品的分类及标志 C. GB15603-1995: 常用化学危险品贮存通则 D. GB50084-2017: 自动喷水灭火系统设计规范 E. GB50116-2013: 火灾自动报警系统设计规范 F. GB50058-2014: 爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范 G. GB50019-2003: 采暖通风和空气调节设计规范 H. GB 50646-2020: 特种气体系统工程技术规范 I. GB50724-2011: 大宗气体纯化及输送系统工程技术规范 | 2. 气体安全监察规程 A. GBZ1-2010 工业企业设计卫生标准 B. GB 50231-2009 机械设备安装工程施工验收通用规范 C. HG/T20203-2017 化工机器安装工程施工及验收规范(通用规定) D. GB50274-2010 制冷设备及空气分离设备安装工程施工及验收规范 E. GB 50235-2010 工业金属管道工程施工及验收规范 F. GB50268-2008 给排水管道工程施工及验收规范 G. GB 50243-2016 通风与空调工程施工及验收规范 H. GB 50236-2011 现场设备、工业管道焊接工程施工及验收规范 I. GB50257-2014 电气装置安装工程爆炸和火灾危险环境电气装置施工及验收规范 | K. GB50259-96 电气装置安装工程电气照明装置施工及验收规范 L. GB 50168-2018 电气装置安装工程电缆线路施工及验收规范 M. GB 50169-2016 电气装置安装工程接地装置施工及验收规范 N. GB50150-2016 电气装置安装工程电气设备交接试验标准 O. GB50093-2013 工业自动化仪表工程施工及质量验收规范 P. GB50300-2013 建筑工程质量验收统一标准 Q. GB 50252-2010 工业安装工程质量检验评定统一标准 R. GB 50184-2010 工业金属管道工程质量检验评定标准 S. GBJ 303-88 建筑电气安装工程质量检验评定标准 T. GB50131-2007 自动化仪表安装工程质量检验评定标准 U. GB50185-2010 工业设备及管道绝热工程质量检验评定标准 V. Piping Connection Design 管道及接头链接设计 |
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