高纯气体管道五项测试中氦质谱检漏仪测试要怎么使用？

在气体管道工程中，由于施工中的各种因素，一些管道等连接处可能存在肉眼无法察觉的小孔，使用时会导致泄漏和事故。特别是在半导体、集成电路等微电子行业输送超高纯电子气体的气体管道工程中，如果发生泄漏，将对生产安全产生很大影响，因此泄漏检测非常重要。下面我们一同了解高纯气体管道是怎么使用氦质谱检漏仪测试的，内容仅供参考，如有遗漏欢迎指正交流。

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气体管道的五项测试是QC中最重要的一部分，这五项测试分别是：保压测试、氦气检漏测试（氦检）、水分测试、氧分测试和颗粒测试，确保气体管道系统的品质达到一定的水准和满足客户的需求。我们今天要了解的就是氦质谱检漏测试的步骤和氦检漏方法。
一、测试前准备

1. 系统成功的的通过了保压检漏。

2. 确认系统的所有部件都能承受得住真空状态而不损坏。

3. 先对测漏仪本身阀组及连接管路进行漏率检测。

4. 氦质谱检漏仪与系统管路接通前，要将被测系统内的气体释放掉。

5. 缓缓打开测漏仪入口处的阀门，将测漏仪与管路系统隔离阀之间的管路抽真空，直至测漏仪显示的背景漏率低于 1× 10-9 mbar.l/s。

6. 对连接管路上所有的焊道及机械连接处进行氦气喷吹。

二、测试方法

1. 确认系统中所有的阀门和调压阀都是全开的。

2. 确认系统中的压力为0，如果系统中还有正压，要先将系统中的气体放掉。

3. 缓缓打开检漏仪入口处的阀门，开始将系统抽成真空状态。遵照检漏仪的操作说明操作，直至达到可以检测的状态。

4. 记录下检漏仪的背景氦漏率，该背景氦漏率低于1 ×10-9 mbar.l/s以后，才可以进行喷吹工作。

5. 从最靠近检漏仪的焊道或连接处开始检测，将氦气用喷枪喷吹到焊道或连接处，使得氦气会停留在焊道或连接处一段时间，确认没有泄漏后，进行下一个焊道或连接处的检测，直到最后一个焊道或连接处。

6. 如果发现检漏仪的指示值有上升的现象，待到检漏仪读值恢复正常后，重新检测该焊道或连接处以确认其是否真的有漏，如果确认不是该焊道或连接处有漏，要依次检测该焊道或连接处之前的焊道或连接处，直到找到漏点为止。

7. 直至所有的接点都被检测到，检测合格的接点要贴合格标志。所有的接点都喷吹过氦气后，继续观察检漏仪的读值10分钟左右，确认读值没有异常后才可以将系统与仪器之间分离开。

8. 如果每个接点的氦气漏率都低于1× 10-9 mbar.l/s，说明该系统的漏率是符合要求的。测试人员可以将检测结果记录在检测报告里了。

9. 将检漏仪与系统分开。

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