VMB阀门箱
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智能半自动特气VMB阀门箱

智能半自动特气VMB阀门箱特气VMB阀门箱(Valve Manifold Box),是一种内嵌多支路,实现高纯气体或液体分流的阀门箱。VMB能让高纯原料从单一来源被分配到多点应用。对于每个使用点,压力可被单独地调控,从而可同时满足不同应用的需求。它还可提供吹扫功能和真空抽气功能,因此操作人员能够在无危险气体泄漏的情况下安全地维护VMB的每一部份。除此以外,设备运行过程中能在不影响其它支路气体供应情
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智能半自动特气VMB阀门箱
特气VMB阀门箱(Valve Manifold Box),是一种内嵌多支路,实现高纯气体或液体分流的阀门箱。
VMB能让高纯原料从单一来源被分配到多点应用。对于每个使用点,压力可被单独地调控,从而可同时满足不同应用的需求。
它还可提供吹扫功能和真空抽气功能,因此操作人员能够在无危险气体泄漏的情况下安全地维护VMB的每一部份。
除此以外,设备运行过程中能在不影响其它支路气体供应情况下,吹扫某一支路或对其进行真空抽气。
VMB通过采用安装的压力表、手动阀等装置,具有成本低的优势,能够实现设备安全有效的运行,同时也确保了工厂正常生产和员工人身安全。
    
适用气体:
易燃性,腐蚀性,毒性气体,诸如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl等。

适用行业:
Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED,研究所,高校实验室等。


产品特性
主材全部采用 SUS316无缝不锈钢管。
主体阀门管件全部来自 APtech,Parker, Potarex 等国际一线品牌。

标准配置

带PLC控制系统,触控屏人机界面
带外吹扫、带抽真空,自动紧急远程切断、事故报警,泄漏报警对接,通风出口等;
符合国际安全规范的带钢丝玻璃观察窗、自动关闭门、抽风外壳;
尾气排放功能;
防爆外柜,烤漆或不锈钢外壳包覆;
每个箱配置:进出均须带手动隔膜阀、气动隔膜阀、压力表,压力传感器、减压阀,单向阀,过滤器、安全阀等
具备一个预留扩充点;
气体分配柜的负压应持续监控。
紧急切断功能,风压事故报警功能等
为保证安全,所有阀门管件须使用优质的国际知名品牌。


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