半自动特气二次配VMB阀门箱
特气VMB阀门箱(Valve Manifold Box)，是一种内嵌多支路，实现高纯气体或液体分流的阀门箱。
VMB能让高纯原料从单一来源被分配到多点应用。对于每个使用点，压力可被单独地调控，从而可同时满足不同应用的需求。
它还可提供吹扫功能和真空抽气功能，因此操作人员能够在无危险气体泄漏的情况下安全地维护VMB的每一部份。
除此以外，设备运行过程中能在不影响其它支路气体供应情况下，吹扫某一支路或对其进行真空抽气。
VMB通过采用安装的压力表、手动阀等装置，具有成本低的优势，能够实现设备安全有效的运行，同时也确保了工厂正常生产和员工人身安全。
适用气体：
易燃性，腐蚀性，毒性气体，诸如SiH4, NF3, NH3, N2O, HCl等。
适用行业：
Semiconductor、TFT、Sun Solar、LED，研究所，高校实验室等。
产品特性
主材全部采用 SUS316无缝不锈钢管。
主体阀门管件全部来自 APtech,Parker, Potarex 等国际一线品牌。
标准配置
带外吹扫、带抽真空，自动紧急远程切断、事故报警，泄漏报警对接，通风出口等;
符合国际安全规范的带钢丝玻璃观察窗、自动关闭门、抽风外壳;
尾气排放功能;
防爆外柜，烤漆或不锈钢外壳包覆;
每个箱配置：进出均须带手动隔膜阀、气动隔膜阀、压力表，压力传感器、减压阀，单向阀，过滤器、安全阀等
具备一个预留扩充点;
气体分配柜的负压应持续监控。
紧急切断功能,风压事故报警功能等
为保证安全，所有阀门管件须使用优质的国际知名品牌。
